半導(dǎo)體制造對潔凈度、精度和可靠性要求極高。史陶比爾憑借卓越的技術(shù)實力，推出專為潔凈室設(shè)計的六軸機(jī)器人，廣泛應(yīng)用于晶圓加工、掩膜版處理及后道工藝等環(huán)節(jié)。

史陶比爾CR/SCR機(jī)器人具備高負(fù)載能力、低顆粒排放、內(nèi)部走線設(shè)計，滿足ISO 2至ISO 4級潔凈標(biāo)準(zhǔn)。無論是FOUP搬運還是碳化硅晶圓處理，史陶比爾都能提供穩(wěn)定可靠的自動化解決方案，助力客戶實現(xiàn)高效生產(chǎn)與品質(zhì)保障。

晶圓自動搬運

晶圓搬運是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，任何微小震動都可能造成損傷。史陶比爾與SüSS MicroTec合作，打造基于六軸潔凈室機(jī)器人的涂膠與顯影系統(tǒng)，實現(xiàn)晶圓在拾取與嵌入過程中的無顫動搬運。機(jī)器人精準(zhǔn)軌跡控制，即使在高速運行下也能保持穩(wěn)定，有效降低破片風(fēng)險。其高潔凈度設(shè)計確保晶圓在氧化、光刻、CMP等工藝中安全流轉(zhuǎn)，保障產(chǎn)品良率。

晶圓潔凈存儲系統(tǒng)

在空間有限的潔凈室中，如何高效存儲高價值晶圓？史陶比爾與Fabmatics聯(lián)合開發(fā)CubeStocker系統(tǒng)，采用TX2-90XL SCR六軸機(jī)器人為核心，實現(xiàn)200個晶圓盒的高密度存儲。系統(tǒng)自帶潔凈空氣供應(yīng)，滿足ISO潔凈標(biāo)準(zhǔn)，緊湊設(shè)計可靈活部署于狹小空間。CubeStocker不僅提升存儲效率，更為晶圓生產(chǎn)提供潔凈緩沖區(qū)，助力客戶降本增效。

FOSB全自動封裝

FOSB封裝流程繁瑣且易出錯，史陶比爾與cts GmbH聯(lián)合開發(fā)ABT系統(tǒng)，打造高度集成的自動化封裝解決方案。系統(tǒng)集成視覺識別、RFID參數(shù)讀取、標(biāo)簽打印與質(zhì)量檢測，兩臺TX2-160潔凈室機(jī)器人精準(zhǔn)完成內(nèi)外袋封裝與傳送。該系統(tǒng)每月可處理8000個FOSB，顯著提升產(chǎn)量與穩(wěn)定性，有效降低人為失誤與污染風(fēng)險，全面滿足半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度與效率的雙重要求。

晶圓清洗工序中的“無接觸搬運”

在晶圓清洗環(huán)節(jié)，史陶比爾SCR超凈室機(jī)器人與德國PTW SpinTec公司合作，采用伯努利傳輸系統(tǒng)實現(xiàn)無接觸搬運。機(jī)器人精準(zhǔn)操控，保障清洗效果一致性，有效提升產(chǎn)品良率。其超緊湊設(shè)計節(jié)省空間，低顆粒排放符合ISO 2級標(biāo)準(zhǔn)，專為高潔凈度環(huán)境打造。這一創(chuàng)新方案重新定義了晶圓清洗的安全與效率，為半導(dǎo)體制造注入新動能。

關(guān)于史陶比爾機(jī)器人

史陶比爾機(jī)器人事業(yè)部專注于高性能工業(yè)自動化解決方案，產(chǎn)品涵蓋四軸和六軸工業(yè)機(jī)器人、移動機(jī)器人以及自動導(dǎo)引運輸車（AGV）。這些機(jī)器人系統(tǒng)具備卓越的精度、速度與環(huán)境適應(yīng)性，廣泛應(yīng)用于汽車制造、電子、醫(yī)療、食品、制藥等高要求行業(yè)。

我們致力于幫助客戶在工業(yè)4.0時代實現(xiàn)智能制造轉(zhuǎn)型，滿足復(fù)雜工藝流程下的自動化需求。

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