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格創東智NTB:破解半導體AMHS"最后一米"效率瓶頸的智能緩存樞紐

格創東智NTB:破解半導體AMHS"最后一米"效率瓶頸的智能緩存樞紐

2025/10/17 16:34:41

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在格創東智Stocker:覆蓋半導體全流程存儲,推動良率&效率雙提速一文中,我們提到,為覆蓋半導體全流程存儲需求,格創東智構建了“核心存儲+配套緩存”的完整Stocker產品矩陣,包括晶圓盒存儲設備(Normal Stocker)、塔式跨樓層存儲設備(Tower Stocker)、光罩盒存儲設備(Reticle Stocker)、氮氣填充存儲設備(N2 Purge Stocker)等核心產品,以及空中緩存設備(OHB)、近機臺緩存設備(NTB)等配套設備。


作為矩陣中聚焦“近機臺最后一米”的關鍵角色,格創東智NTB是專為半導體生產機臺(光刻、刻蝕、沉積等)定制的自動化緩存設備,其部署于機臺旁,充分利用垂直空間增加有效緩沖,實現“OHT天車-生產機臺”的物料高效中轉,解決傳統物流中機臺等料、OHT擁堵、人工干預污染等痛點,徹底打通半導體物料自動化流轉的“最后一米”。


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AMHS“最后一米”的緩存樞紐

三大特性打造不可或缺性

在半導體AMHS系統中,OHT天車承擔“跨區域長距離搬運”,Stocker承擔“全產線集中存儲”,而格創東智NTB則憑借“近距離、高頻次、快切換”三大特性,成為連接兩者與機臺的“關鍵紐帶”。


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1、近距離:極致壓縮轉運距離,消除延遲

●空間靈活部署:采用模塊化拼接設計,占地面積僅1-2㎡,可嵌入刻蝕機集群間隙、測試機旁狹窄通道等場景,無需占用車間核心物流通道;

●秒級物料交接:與機臺Load Port距離僅1-3米,單次Load/Unload時間最快10秒,遠快于OHT的平均響應時間,消除物流周轉環節的延遲,平衡各機臺間節拍的差異。


2、高頻次:匹配機臺生產節奏,高效響應

●連續換料能力:機械臂采用輕量化設計,配合伺服電機精準控制,最快單次Load/Unload時間≤10秒,1分鐘內可完成至少3次連續Load/Unload任務,完美適配測試機、分揀機的高頻換料需求;

●本地自主決策:內置格創東智自研的控制系統,可直接接收機臺EAP指令,無需依賴MCS系統調度,避免網絡擁堵導致的響應延遲。


3、快切換:E84一鍵切換,適配多場景柔性生產

●E84協議是機臺(EQ)與外部設備(如OHT/NTB)實現數據交互的核心通訊標準,傳統模式下E84切換存在人工重新配置、切換周期長、易出錯的痛點。格創東智NTB創新開發E84 一鍵快速切換功能,無需更換硬件接線,通過NTB本地觸摸屏或遠程MCS系統,點擊“切換至OHT”/“切換至NTB”即可觸發,10分鐘內完成模式切換,為產線柔性生產提供關鍵支撐。


破解機臺“等料”痛點

實現設備稼動率&AMHS效率雙提升

格創東智NTB并非簡單的“臨時貨架”,而是通過“提前備貨、自動交接、緩沖調度”,為半導體產線帶來設備稼動率提升、AMHS效率優化等價值。


提升設備稼動率:從“機等料”到“料等機”

傳統生產模式中,機臺因等待OHT送料、Load Port滿料停機等原因,稼動率通常僅75%-80%。格創東智NTB通過兩大機制實現效率突破:

●預緩存待加工物料:MCS系統根據機臺生產節拍下發搬運任務給 OHTC,OHTC調度天車將待加工料盒送至NTB,機臺完成當前工單后可立即接料,提高響應時效性,避免“機等料”;

●暫存已加工物料:機臺完成加工的晶圓載具可臨時存放在NTB,待OHT空閑時集中轉運至Stocker,避免機臺因Load Port滿料引起停機等風險。


優化AMHS效率:平衡負載、提高吞吐量

若所有物料均通過OHT直接對接機臺,會導致OHT調度頻繁、軌道擁堵(尤其多機臺同時叫料時)。格創東智NTB通過“緩沖調節”平衡AMHS負載:

●減少OHT無效往返:OHT可一次性將多臺機臺的待加工料盒送至對應NTB,再集中轉運已加工料盒至Stocker,單次任務覆蓋范圍擴大,OHT空跑率大幅降低;

●緩解軌道擁堵:避免OHT在機臺區域頻繁啟停、排隊等待,提升整體AMHS吞吐量。

作為國內少數具備“AMHS整體解決方案+核心設備自研”能力的企業,格創東智NTB的價值,不僅在于解決“機等料”的單個痛點,更在于通過“小設備”串聯起AMHS全鏈路協同——從OHT天車的高效調度,到Stocker的集中存儲,再到機臺的連續生產,格創東智NTB成為打通自動化物流閉環的關鍵一環。


截止目前,格創東智NTB已累計出貨20+臺,其中95%應用于國內頭部12吋先進制程晶圓廠。未來,格創東智將持續以“技術自主可控、場景深度適配、服務高效響應”為核心,夯實并完善“AI+CIM+AMHS”整體解決方案,助力半導體工廠智能化升級。

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李娜
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