應(yīng)用介紹

【行業(yè)】半導(dǎo)體

【設(shè)備】刻蝕機(jī)/清洗機(jī)

應(yīng)用場(chǎng)景

單片清洗機(jī)中晶圓的平整檢測(cè)。

解決課題

1、清洗液具有腐蝕性，傳感器需要具備耐腐蝕和防水的功能。

2、在部分易燃易爆氣體等環(huán)境中，傳感器需要適應(yīng)防爆需求。

3、在特定清洗工藝中，因清洗劑成分具有光敏感性，無法直接使用光電傳感器。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：

光纖傳感器 E3NX-FA

光纖單元 E32-T12F

■光纖頭E32-T12F配有氟樹脂全涂層，實(shí)現(xiàn)耐腐蝕、防水的雙重工業(yè)級(jí)防護(hù)。

■光纖頭只是傳導(dǎo)光的介質(zhì)，不含電氣回路，可以安全地應(yīng)用于防爆環(huán)境要求。

■E3NX-FA可以在特定時(shí)間段內(nèi)將LED光關(guān)閉，避免對(duì)清洗工藝產(chǎn)生影響。

■備有S-TUNE智能調(diào)諧設(shè)定，兩鍵自動(dòng)設(shè)定光量和閾值，減小對(duì)射光纖安裝的同心度誤差。

相關(guān)產(chǎn)品

光纖單元E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

智能光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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