馬波斯 STIL光譜共焦傳感器
STIL光譜共焦傳感器可非接觸式測量厚度,在不同應(yīng)用中測量透明樣品或臺階高度差,例如工業(yè)生產(chǎn)的線上測量或?qū)嶒炇覝y量。
產(chǎn)品分類:離散傳感器
品牌:產(chǎn)品介紹
STIL光譜共焦傳感器可非接觸式測量厚度,在不同應(yīng)用中測量透明樣品或臺階高度差,例如工業(yè)生產(chǎn)的線上測量或?qū)嶒炇覝y量。
測量原理是測量兩個表面位置,即使兩個不同反光率表面,也可同時測量另一個表面的位置。2個表面的距離測量值之差為厚度值,用此測量透明樣品厚度。
用相同方法可測量多個透明層的樣品:部分馬波斯STIL控制器支持多層厚度測量。
優(yōu)勢:
高軸向分辨率:納米級(nm)
高橫向分辨率:微米級(μm)
光學(xué)筆中僅有無源組件
高信噪比
支持不同類型樣品
可選測量范圍廣
大數(shù)值孔徑(NA)支持大斜角
同軸(無?陰影?)
無?散斑?
描述:
馬波斯STIL光學(xué)筆由多種型號可選,從單個測量點到沿直線或在區(qū)域內(nèi)分布的多個測量點。
馬波斯STIL光學(xué)筆可互換使用,可在不同的應(yīng)用中和不同表面反光率的應(yīng)用中保持測量高靈活性、高可靠性和高適用性:例如透明、不透明、鏡面、漫反射表面。
對于透明樣品,例如玻璃,技術(shù)參數(shù)中所示的最小測量厚度是考慮了光線穿過玻璃折射率n=1.5的情況。
同樣,透明樣品的最大厚度也取決于折射率,例如玻璃。
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