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何以Elmo | 如何實(shí)現(xiàn)高精度多軸同步的半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)動(dòng)控制?

何以Elmo | 如何實(shí)現(xiàn)高精度多軸同步的半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)動(dòng)控制?

     作為運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的全球領(lǐng)先企業(yè),Elmo在剛剛結(jié)束的上海工博會(huì)上系統(tǒng)化地展示了其在半導(dǎo)體典型場(chǎng)景下的應(yīng)用及解決方案,通過Elmo運(yùn)動(dòng)控制系列產(chǎn)品和軟件,充分展示了其在龍門平臺(tái),多軸同步控制等方面的優(yōu)勢(shì),重新定義了半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)的“大腦”與“神經(jīng)中樞”。


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龍門平臺(tái):實(shí)現(xiàn)微秒級(jí)多軸同步控制

     半導(dǎo)體設(shè)備中廣泛使用的龍門結(jié)構(gòu),其核心挑戰(zhàn)在于實(shí)現(xiàn)雙軸乃至多軸之間的精準(zhǔn)同步。傳統(tǒng)方案將同步算法置于上層控制器,受制于總線通信延遲,性能存在瓶頸。Elmo創(chuàng)新性地將龍門控制算法底層植入驅(qū)動(dòng)器層面,實(shí)現(xiàn)了“執(zhí)行層同步”。


     此舉徹底消除了通信延遲帶來的誤差,使得雙軸能夠在微秒級(jí)周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)完全同步。配合新一代Titanium系列多軸驅(qū)動(dòng)器,系統(tǒng)甚至無需外部接線,在硬件內(nèi)部即可完成閉環(huán)控制。

 

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賦能高動(dòng)態(tài)設(shè)備:突破動(dòng)態(tài)性能上限

     對(duì)于貼片機(jī)、點(diǎn)膠機(jī)、晶圓傳輸平臺(tái)等高動(dòng)態(tài)設(shè)備,Titanium系列驅(qū)動(dòng)器因采用了氮化鎵(GaN)與碳化硅(SiC)為代表的第三代半導(dǎo)體工藝,使得產(chǎn)品開關(guān)頻率與伺服電流環(huán)響應(yīng)速度上取得突破性進(jìn)展。更高的開關(guān)頻率帶來更平滑的轉(zhuǎn)矩輸出與更低的諧波損耗,而電流環(huán)響應(yīng)能力的提升則直接增強(qiáng)了系統(tǒng)在高速高精場(chǎng)景下的動(dòng)態(tài)性能。

Titanium Castanet 伺服驅(qū)動(dòng)器

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Titanium Harmonica 雙軸伺服驅(qū)動(dòng)


定制服務(wù):將算法寫進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

     面對(duì)愈加靈活、柔性的生產(chǎn)模式,Elmo支持深度定制化開發(fā),例如根據(jù)韓國(guó)半導(dǎo)體客戶的需求推薦使用的四軸一體化驅(qū)動(dòng)器Platinum Solo Quartet,該產(chǎn)品將控制功能完全集成于驅(qū)動(dòng)器內(nèi),無需外置控制器即可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜軌跡規(guī)劃。


     更重要的是,Elmo提供了開放的軟件開發(fā)環(huán)境,支持客戶將專有算法,如固晶機(jī)中的“力位混合控制”直接寫入驅(qū)動(dòng)器。這一功能使設(shè)備商能夠打造具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的控制系統(tǒng),形成差異化競(jìng)爭(zhēng)力。


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精準(zhǔn)控制:讓“視覺+運(yùn)動(dòng)” 更簡(jiǎn)單

     在半導(dǎo)體前道檢測(cè)、晶圓對(duì)位等制造環(huán)節(jié),精準(zhǔn)定位始終是核心挑戰(zhàn)。Elmo此次發(fā)布的運(yùn)動(dòng)控制器Titanium Maestro與上一代采用ARM平臺(tái)的產(chǎn)品不同,全面轉(zhuǎn)向x86架構(gòu),顯著提升CPU與GPU的綜合算力,并首次在控制器層級(jí)通過算法支持視覺處理,使得設(shè)備能夠在本地直接完成圖像識(shí)別、定位與軌跡規(guī)劃任務(wù),無需依賴外接工控機(jī)。

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Titanium Maestro運(yùn)動(dòng)控制器

     

     從龍門同步到視覺控制,從系統(tǒng)整合到深度定制,Elmo構(gòu)建了覆蓋半導(dǎo)體制造全流程的高性能控制單元體系,并持續(xù)助力客戶在轉(zhuǎn)型過程中穩(wěn)步提升設(shè)備性能與智能化水平。


關(guān)于Elmo

     埃莫(Elmo)公司總部位于以色列,在美國(guó)、中國(guó)、德國(guó)、意大利、韓國(guó)、波蘭和英國(guó)設(shè)有辦事處,是高性能運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的全球領(lǐng)導(dǎo)者。


     我們提供完整的運(yùn)動(dòng)解決方案,設(shè)計(jì)并制造尖端伺服驅(qū)動(dòng)器,基于網(wǎng)絡(luò)的多軸運(yùn)動(dòng)控制器和集成伺服電機(jī)。所有產(chǎn)品均可通過埃莫先進(jìn)且簡(jiǎn)單易用的世界一流軟件工具整定和配置。憑借令人贊嘆的先進(jìn)技術(shù),我們致力于推動(dòng)全球的運(yùn)動(dòng)控制行業(yè)的發(fā)展,迄今已有數(shù)百萬臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置運(yùn)行在世界各地,從工業(yè)到航空,從半導(dǎo)體到激光,從機(jī)器人到無人駕駛,有效提升各行業(yè)的機(jī)器性能。自2022年起,Elmo成為博世力士樂旗下公司 。


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黃莉
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