應用背景

PECVD依靠射頻感應產生的等離子體,實現薄膜沉積工藝的低溫化，從而節省能源、降低成本、提高產能、減少了高溫導致的硅片中少子壽命衰減，可應用于PERC、TOPCON、HJT等多種電池片的工藝中，PECVD設備正被廣泛應用于太陽能光伏行業。

由于工藝要求的不斷提升，傳統視覺方式很難滿足一些特殊的檢測要求。我們在對太陽能電池進行清洗制絨后， 依賴Gocator 3D線激光輪廓傳感器對硅片進行檢測，實現硅片搭邊、重疊、異物以及平面度的檢測。

項目挑戰

● 高反光和漫反射材質，相機動態范圍要求高

● 尺寸大

● 速度要求，對傳感器的掃描速率要求高

● 需要檢出完全重疊的硅片

現有方案及結果

選擇6臺大視野 Gocator 2450覆蓋硅片掃描范圍，針對缺陷及破損等，基于采集的2D灰度圖和3D點云圖使用內置算法，判定OK或者NG。針對疊片和異物等，基于采集的2D灰度圖和3D點云圖定位硅片位置，統計硅片位置ROI內平面度，根據平面度判斷硅片是否存在重疊和異物，能夠判定硅片是否100%完全重疊。

Gocator 3D檢測方案實現組網和自動標定， 單片或多片拼圖輸出完整點云圖，布線簡便及簡潔，無需編碼器分頻。檢測方案具備高穩定性，助力實現硅片載板檢測。

向智能化邁進，運用LMI Technologies 3D視覺幫助客戶的工業生產線更加高效、準確地檢測，及時發現產品存在的缺陷和問題，提高產品質量和生產效率，最終達到降本增效！