在電動汽車、人工智能和通信技術飛速發展的今天，半導體芯片已成為高科技產業的核心驅動力，而半導體設備作為芯片制造的基石，正成為全球科技競爭的戰略制高點。作為信息技術產業的基礎支柱，半導體設備不僅決定著芯片制造的工藝水平，更直接關系到國家科技競爭力與產業鏈安全。在這一背景下，倍福基于 PC 的控制技術為半導體設備行業中的整個產業鏈提供了完整的控制解決方案，這一方案全面涵蓋了從前端晶圓加工到后道工藝芯片封裝的各個環節，助力中國半導體設備行業實現新一輪的產業變革。

半導體行業困局

如何在摩爾定律持續演進的情況下，對設備精度和性能提出更高要求？

如何滿足半導體設備技術突破路徑呈現出多元化和差異化特征？

如何助力半導體設備企業從單機臺突破創新到平臺式創新的轉變？

倍福為您破局

01EtherCAT 

快速、開放、享譽全球

EtherCAT 是倍福的超高速工業以太網技術。自 2003 年以來，它在速度和同步精度方面樹立了新的標準，如今已被認為半導體行業的全球標準。

? 超高速、可靠的通信標準

? 保持技術的永久兼容性

? 專為極端嚴苛應用環境量身打造的創新解決方案

02XPlanar 平面磁懸浮輸送系統

高度靈活的晶圓輸送

有了 XPlanar，您的生產部件可以在一個工具內以及在幾臺設備間以自由懸浮的方式輸送：它具有高動態性，且無抖動，同時提供最高精度和前所未有的移動靈活性。

? 自由懸浮的動子，能夠以最大 2 m/s 的速度無抖動地輸送零件

? 平面模塊可以自由拼接成任意幾何形狀的傳輸平面

? 實現靈活的零件輸送，擺脫固定工位序列的束縛

03EtherCAT 插拔式模塊及測量模塊

降低成本

倍福產品系列全方位滿足半導體行業的所有型號采集需求：從每秒測量一次到每秒測量數千次，從電壓和電流測量到溫度和壓力測量。而倍福的 I/O 專業技術可以更高效地幫助您打造出適用于批量生產的自動化系統。

?  EJ 系列 EtherCAT 模塊 | 插拔式設計便捷高效，緊湊、取代了復雜、專用的 I/O 信號板，并且消除了錯誤接線的風險

?  ELM 系列 | 高端測量模塊被集成到 EtherCAT I/O 系統中，在記錄過程關鍵測量通道數據時也表現出極高的可靠性。

?  TwinCAT Scope | 能夠以圖形化方式精確顯示個位數微秒范圍內的測量信號

04TwinSAFE 全集成安全解決方案

為 EtherCAT 系統量身定制的安全解決方案

倍福的 TwinSAFE 為半導體設備行業量身定制的安全解決方案，打破了控制技術領域長期存在的“安全功能”和“非安全功能”分離局面，在實施過程中表現出高度靈活性和可擴展性。有了 TwinSAFE，就能夠根據不同的應用需求與實施方式，將各種所需的安全功能靈活地集成到任何控制架構之中。最后可以根據您的具體需求量身定制完整的安全解決方案。

? 為實施定制化安全應用提供全面的軟件支持

? Safety over EtherCAT  助力實現開放性和靈活性

? 適用于所有應用領域的 TwinSAFE 邏輯的組件

05針對半導體行業的中央控制解決方案

實現高度模塊化設計以及多功能性

基于 PC 的控制技術使用可滿足各種性能等級需求的工業 PC 完成所有控制任務。包括過程控制、HMI 集成、運動控制以及機器人技術、安全和測量技術以及視覺和物聯網集成領域的所有控制任務。結合模塊化且具備實時能力的 TwinCAT 軟件平臺以及 EtherCAT 超高通信系統，基于 PC 的控制技術可為您的晶圓廠打造出一種既強大又具備前瞻性的自動化解決方案。

?  開放式架構可實現最大的設計自由度和定制化解決方案

?  強大的實時環境，可自動執行所有控制任務

?  通過自由選擇和集成高性能的工業 PC，可以根據具體的應用需求輕松進行擴展